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P-7 臺階儀/探針式輪廓儀

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。

  • 品牌:KLA-Tencor / KLA
  • 型號:P-7

探針式輪廓儀 / 臺階儀 / P-7 Stylus Profiler

P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。

產(chǎn)品描述

P-7建立在市場(chǎng)領(lǐng)先的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術(shù)的卓越測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了極高的性?xún)r(jià)比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。

主要功能

臺階高度:幾納米至1000μm

微力恒力控制:0.03至50mg

樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接

視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機

圓弧校正:消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差

軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

生產(chǎn)能力:通過(guò)測序,模式識別和SECS / GEM實(shí)現全自動(dòng)化

主要應用

臺階高度:2D和3D臺階高度

紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

形狀:2D和3D翹曲和形狀

應力:2D和3D薄膜應力

缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所

半導體和化合物半導體

LED:發(fā)光二極管

太陽(yáng)能

MEMS:微機電系統

數據存儲

汽車(chē)

醫療設備

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