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P-17 臺階儀 / 探針式輪廓儀

探針式輪廓儀 / 臺階儀 / P-17 Stylus Profiler產(chǎn)品名稱(chēng):P-17 Stylus Profiler品牌:KLA-Tencor / KLA.型號:P-17 P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無(wú)需圖像拼接。

  • 品牌:美國 KLA公司/KLA-Tencor
  • 型號: P-17

探針式輪廓儀 / 臺階儀 / P-17 Stylus Profiler

P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無(wú)需圖像拼接。

產(chǎn)品描述

P-17是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結晶。該系統領(lǐng)先業(yè)界,支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無(wú)需圖像拼接。

該系統結合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩定性。 通過(guò)點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側視光學(xué)系統以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機等功能,程序設置簡(jiǎn)便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D或3D測量。 并通過(guò)圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現全自動(dòng)測量。

主要功能

臺階高度:幾納米至1000μm

微力恒力控制:0.03至50mg

樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接

視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機

圓弧校正:消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差

軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

生產(chǎn)能力:通過(guò)測序、圖案識別和SECS/GEM實(shí)現全自動(dòng)化

主要應用

臺階高度:2D和3D臺階高度

紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

形狀:2D和3D翹曲和形狀

應力:2D和3D薄膜應力

缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所

半導體和化合物半導體

LED:發(fā)光二極管

太陽(yáng)能

MEMS:微機電系統

數據存儲

汽車(chē)

醫療設備

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