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D-600 臺階儀/探針式輪廓儀

產(chǎn)品主要特點(diǎn):55 mm scan lengthZ sensor range up to 1.2 mm200mm motorized sample positioning stage (150mm x178 mm motion)Force control 0.03mg – 10mgWindows XP, Vista, and Windows 7 compatibleThe KLA-Tencor D

  • 品牌:美國KLA公司/KLA-Tencor
  • 型號:Alpha-Step D-600

探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應力的測量。 D-600配置200毫米自動(dòng)移動(dòng)樣品臺與先進(jìn)的Keystone矯正的輔助光學(xué)系統

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量,以及翹曲度和薄膜應力的測量。創(chuàng )新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大范圍測量與超微力測量于一體的功能。

探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量,與材料特性無(wú)關(guān)??烧{節的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進(jìn)行精確測量。通過(guò)測量粗糙度和應力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。

主要功能

臺階高度:幾納米至1200μm

低觸力:0.03至15mg

視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正:消除側視光學(xué)系統引起的失真

圓弧校正:消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差

緊湊尺寸:占地面積小

軟件:用戶(hù)友好的軟件界面

主要應用

臺階高度:2D臺階高度和3D臺階高度

紋理:2D粗糙度和波紋度

形式:2D翹曲和形狀

應力:2D薄膜應力

工業(yè)應用

大學(xué),研究實(shí)驗室和研究所

半導體和復合半導體

SIMS:二次離子質(zhì)譜

LED:發(fā)光二極管

太陽(yáng)能

MEMS:微電子機械系統

汽車(chē)

醫療設備

更多應用:請與我們聯(lián)系并探討您的需求

規格參數

掃描探針壓力: 0.03-15mg

最佳垂直分辨率: 0.38 ?

Z測量重復精度: 5.0 ? 或 0.1%

最大垂直測量范圍: 1200um

具有雙向掃描測量的功能,方便定位和掃描

最大采樣點(diǎn)數120,000

掃描長(cháng)度:55 mm/200mm(stitching);

掃描速度0.01-0.4mm/s

獨特的系統內置避震設計

30多種分析參數

XY方向150mmX178mm自動(dòng)樣品運動(dòng)臺

樣品臺尺寸200mm直徑,360度旋轉,可調傾斜角度+/-2度

500萬(wàn)像素彩色攝像頭 配備Keystone視頻校正


電話(huà):

13816692140

傳真:

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