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反射膜厚儀 F50系列

反射膜厚儀/測厚儀/F50系列 自動(dòng)化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤(pán),樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統能夠執行數百萬(wàn)次的量測!)測繪圖案可以是極座標、矩形或線(xiàn)性的,您也可以創(chuàng )造自己的測繪方法,并且不受測量點(diǎn)數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

  • 品牌:Filmetrics@A KLA Company
  • 型號:F50系列

反射膜厚儀/測厚儀/F50系列 

自動(dòng)多點(diǎn)測量成像


Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤(pán),樣品直徑標配200mm,可達450mm。(穩定的樣品臺在我們的量產(chǎn)系統能夠執行數百萬(wàn)次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線(xiàn)性的,您也可以創(chuàng )造自己的測繪方法,并且不受測量點(diǎn)數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

不同的F50型號儀器是根據波長(cháng)范圍來(lái)加以區分的。 標準的F50是最受歡迎的產(chǎn)品。一般較短的波長(cháng)(如F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長(cháng)的波長(cháng)則可以用來(lái)測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可測樣品膜層:
基本上所有光滑的,非金屬的薄膜都可以測量。

可測樣品包括:
氧化硅 氮化硅 類(lèi)金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅  

額外的好處:

· 每臺系統內建超過(guò)130種材料庫, 隨著(zhù)不同應用更超過(guò)數百種

·  應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)

· 網(wǎng)上的 “手把手” 支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))

·  硬件升級計劃

 

 

 

 

型號

厚度范圍*

波長(cháng)范圍

F50

20nm-70μm

380-1050nm

F50-UV

5nm-40μm

190-1100nm

F50-NIR

100nm-250μm

950-1700nm

F50-EXR

20nm-250μm

380-1700nm

F50-UVX

5nm-250μm

190-1700nm

F50-XT

0.2μm-450μm

1440-1690nm

F50-s980

4μm-1mm

960-1000nm

F50-s1310

7μm-2mm

1280-1340nm

F50-s1550

10μm-3mm

1520-1580nm



型號厚度范圍*波長(cháng)范圍
F5020nm-70μm380-1050nm
F50-UV5nm-40μm190-1100nm
F50-NIR100nm-250μm950-1700nm
F50-EXR20nm-250μm380-1700nm
F50-UVX5nm-250μm190-1700nm
F50-XT0.2μm-450μm1440-1690nm
F50-s9804μm-1mm960-1000nm
F50-s13107μm-2mm1280-1340nm
F50-s155010μm-3mm1520-1580nm

厚度范圍*
1nm
10nm
100nm
1μm
10μm
100μm
1mm
10mm
F50-UV
F50-UVX
F50
F50-EXR
F50-NIR
F50-XT
F50-s980
F50-s1310
F50-s1550



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