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NanoFlip納米壓痕儀

NanoFlip納米壓痕儀可在真空和常壓條件下對硬度、模量、屈服強度、剛度和其他納米力學(xué)測試進(jìn)行高精確度的測量。在掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)系統中,NanoFlip在測試(例如柱壓縮)方面表現優(yōu)異,可以將SEM圖像與機械測試數據同步。NanoFlip測量迅速,這對于惰性環(huán)境(例如手套箱)中測試異質(zhì)材料很關(guān)鍵。系統所配置的可選套件,例如InForce50電磁驅動(dòng)器,可以提供定量結

  • 品牌:KLA-Tencor / KLA
  • 型號:NanoFlip

NanoFlip納米壓痕儀可在真空和常壓條件下對硬度、模量、屈服強度、剛度和其他納米力學(xué)測試進(jìn)行高精確度的測量。在掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)系統中,NanoFlip在測試(例如柱壓縮)方面表現優(yōu)異,可以將SEM圖像與機械測試數據同步。NanoFlip測量迅速,這對于惰性環(huán)境(例如手套箱)中測試異質(zhì)材料很關(guān)鍵。系統所配置的可選套件,例如InForce50電磁驅動(dòng)器,可以提供定量結果,從而為材料研究提供有價(jià)值的解決方案。


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產(chǎn)品描述

NanoFlip提供高精度XYZ位移,可定位樣品進(jìn)行測試,還提供翻轉機制,可定位樣品進(jìn)行成像。InView軟件附帶一套測試方法,涵蓋一系列測試協(xié)議,并允許用戶(hù)創(chuàng )建自己的新穎測試方法。InForce50驅動(dòng)器在真空和常壓條件下表現同樣出色。InView軟件可以記錄SEM或其他顯微鏡圖像,并與機械測試數據進(jìn)行同步。創(chuàng )新的FIB-to-Test技術(shù)允許樣品傾斜90°,無(wú)需移除樣品即可實(shí)現從FIB到壓痕測試的無(wú)縫過(guò)渡。

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主要功能

  • InForce 50驅動(dòng)器,用于電容位移測量,并配有電磁啟動(dòng)的可互換探頭

  • InQuest高速控制器電子設備,具有100kHz數據采集速率和20μs時(shí)間常數

  • 用于樣本定位的XYZ移動(dòng)系統

  • SEM視頻捕獲,可以將SEM圖像和測試數據進(jìn)行同步

  • 獨特的軟件集成壓頭校準系統,可實(shí)現快速,準確的壓頭校準

  • 與Windows?10兼容的InView控制和數據查看軟件以及協(xié)助用戶(hù)設計實(shí)驗的方法開(kāi)發(fā)功能

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主要應用

  • 硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

  • 連續剛度測量

  • 高速材料性質(zhì)分布圖

  • ISO 14577硬度測試

  • 聚合物的納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)

  • 定量刮擦和磨損測試

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工業(yè)應用

  • 大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所

  • 支柱和微球制造

  • MEMS(微機電系統)

  • 材料制造(結構壓縮/拉伸/斷裂測試)

  • 電池和元件制造



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硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

NanoFlip納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對這些特性的高速評估保證了在生產(chǎn)線(xiàn)上進(jìn)行質(zhì)量控制。

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連續剛度測量 (CSM)

連續剛度測量用于量化動(dòng)態(tài)材料特性,例如應變率和頻率引起的影響。 NanoFlip納米壓痕儀提供0.1Hz至1kHz的動(dòng)態(tài)激發(fā),采用隨時(shí)間變化進(jìn)行監測以準確確定初始表面接觸,并根據深度或頻率持續對接觸剛度進(jìn)行測量。


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材料特性分部

對于包括復合材料在內的許多材料,其機械性能可能因部位而異。NanoFlip的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動(dòng)21mm,并在Z軸方向移動(dòng)25mm,這使得該系統適用于不同的樣品高度并可以在樣品區域上進(jìn)行測量??蛇x的NanoBlitz形貌和斷層成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。

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ISO 14577硬度測試

NanoFlip納米壓痕儀包括預先編寫(xiě)的ISO 14577測試方法,可用于測量符合ISO 14577標準的材料硬度。該測試方法自動(dòng)測量并報告楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕。

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納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)

聚合物是非常復雜的材料。為了獲取決定聚合物設計的有用信息,需要對相關(guān)樣品在相關(guān)的條件下進(jìn)行機械性能測量。納米壓痕測試幫助這種特定相關(guān)的測量易于進(jìn)行,因為只需要制備很小或很少量的樣品。NanoFlip納米壓痕系統還可以通過(guò)在與材料接觸時(shí)振蕩壓頭來(lái)測量聚合物的復數模量和粘彈性。

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定量劃痕和磨損測試

NanoFlip可以對各種材料進(jìn)行刮擦和磨損測試。涂層和薄膜會(huì )經(jīng)過(guò)化學(xué)機械拋光(CMP)和引線(xiàn)鍵合等多道工藝,考驗薄膜的強度及其與基板的粘合性。重要的是這些材料在這些工藝中抵制塑性變形,并且保持原樣而不會(huì )基板起泡。













NanoFlip 選項可供選擇,配合您的新產(chǎn)品,或后續使用。 請聯(lián)系你的銷(xiāo)售代表獲取更多相關(guān)信息。csm.jpg















連續剛度測量(CSM)

CSM技術(shù)采用在壓痕期間振蕩壓頭以測量隨深度、力荷載、時(shí)間或頻率而變化的特性。該選項包括恒定應變率實(shí)驗,該實(shí)驗測量硬度和模量與深度或載荷的函數關(guān)系,這是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界最常用的測試方法。CSM還可用于其他高級測量選項,包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA?方法和與基板無(wú)關(guān)的測量方法AccuFilm?。CSM功能集成在InQuest控制器和InView軟件中,易于使用并且保證數據質(zhì)量。

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Gemini 2D多軸傳感器

Gemini 2D多軸技術(shù)為第二個(gè)橫向軸提供相同的標準壓痕性能,并且CSM同時(shí)沿兩個(gè)軸運行。該專(zhuān)利技術(shù)所提供的額外信息有助于深入了解材料特性和失效機理。二維力荷載傳感器為橫向荷載和摩擦力測量提供了獨特的解決方案,并可以測量泊松比、摩擦系數、劃痕、磨損、剪切和表面拓撲。

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NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D利用InForce 50驅動(dòng)器和Berkovich壓頭繪制高E(> 3GPa)材料的3D測量圖。NanoBlitz以每次壓痕<1實(shí)現多達100,000次壓痕(300x300陣列),并對陣列中的每個(gè)壓痕提供在指定負載下的楊氏模量、硬度和剛度。大量測試可以提高統計準確性,直方圖顯示多個(gè)階段或材料。NanoBlitz 3D方法組合還具有可視化和數據處理功能。

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NanoBlitz 4D

NanoBlitz 4D利用InForce 50驅動(dòng)器和Berkovich壓頭為低E / H和高E(> 3GPa)材料繪制4D納米機械特性的分布。NanoBlitz以每次壓縮5-10s進(jìn)行多達10,000個(gè)壓痕(30×30陣列)測試,并以每個(gè)壓痕的深度為函數對楊氏模量、硬度和剛度進(jìn)行測量。 NanoBlitz 4D采用恒定應變率方法。該功能組合具備可視化和數據處理功能。

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AccuFilm?薄膜方法組合

AccuFilm薄膜方法組合是一種基于Hay-Crawford模型的InView測試方法,采用連續剛度測量(CSM)對基板無(wú)關(guān)的材料特性進(jìn)行測量。AccuFilm對軟基板上硬性薄膜測量進(jìn)行基板材質(zhì)的影響的校正,也對硬基板上的軟性薄膜進(jìn)行同類(lèi)的校正。

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ProbeDMA?聚合物方法組合

聚合物包提供了對聚合物的復數模量作為頻率的函數進(jìn)行測量的能力。該包裝包括平?jīng)_頭、粘彈性參考材料和用于評估粘彈性的測試方法。傳統動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)測試儀器無(wú)法很好地表征的納米級聚合物和聚合物薄膜,而這種技術(shù)是對其進(jìn)行表征的關(guān)鍵。

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劃痕和磨損測試方法組合

劃痕和磨損測試方法組合是隨InForce 50驅動(dòng)器一起提供的。劃痕測試在以指定速度在樣品表面上移動(dòng)時(shí)對壓頭施加恒定或斜坡載荷。劃痕測試允許表征薄膜、脆性陶瓷和聚合物等在內的很多材料。

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DataBurst

DataBurst功能使配備InView軟件和InQuest控制器的系統能夠以>1kHz的速率記錄位移數據,用以測量高應變階躍負載、彈出和其他高速事件。 配備用戶(hù)方法開(kāi)發(fā)選項的NanoFlip系統也可以對使用DataBurst的方法進(jìn)行修改。

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針對InView控制軟件的用戶(hù)方法開(kāi)發(fā)

InView是一個(gè)功能強大、直觀(guān)的實(shí)驗腳本平臺,可用于設計新穎或復雜的實(shí)驗。經(jīng)驗豐富的用戶(hù)可以使用NanoFlip系統設置執行幾乎所有小規模的機械測試。這是KLA-Tencor的獨家功能。

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True Test I-V電氣測量

NanoFlip 納米壓痕儀的I-V選項采用InView軟件進(jìn)行控制,并使用精密電流表和電壓源,以及InForce 50/1000驅動(dòng)器的直通電路和導電壓頭。該設計允許用戶(hù)將特定電壓施加到樣品并測量壓頭處的電流,以及同時(shí)操作InForce驅動(dòng)器。

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壓頭提示和校準樣品

系統提供各種各樣的尖銳壓頭,如Berkovich、立方角和維氏、以及平面沖頭、球形沖頭和其他幾何形狀。整個(gè)產(chǎn)品系列也提供標準參考材料和校準標準。


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