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光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/MicroXAM-800 Optical Profiler

光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/MicroXAM-800 Optical Profiler產(chǎn)品主要特點(diǎn):250 μm closed loop vertical rangePSI (phase) and VSI mode (vertical)100mm x 100mm manual sample positioning stage (optional 100mm x 100mm motorized stag

  • 品牌:KLA-Tencor / KLA
  • 型號:MicroXAM-800

光學(xué)輪廓儀/白光干涉儀/MicroXAM-800 Optical Profiler


MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀,采用相位掃描干涉技術(shù)(PSI)對納米級特征進(jìn)行測量,以及采用垂直掃描干涉技術(shù)(VSI)對亞微米至毫米級特征進(jìn)行測量。 MicroXAM-800的程序設置簡(jiǎn)單靈活,可以進(jìn)行單次掃描或多點(diǎn)自動(dòng)測量,適用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。

 

產(chǎn)品描述

MicroXAM-800光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進(jìn)行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量,兩者都是傳統的相干掃描干涉技術(shù)(CSI)。MicroXAM進(jìn)一步擴展了這些技術(shù),它采用SMART Acquire為新手用戶(hù)簡(jiǎn)化了程序設置,并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對大臺階高度進(jìn)行高速測量。

MicroXAM測量技術(shù)的優(yōu)勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無(wú)關(guān),因而能夠在大視野范圍內進(jìn)行高分辨率測量。測量區域可以通過(guò)將多個(gè)視場(chǎng)拼接為同一個(gè)測量結果而進(jìn)一步增加。 MicroXAM的用戶(hù)界面創(chuàng )新而簡(jiǎn)單,適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。

 

主要功能

· 針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量

· SMART Acquire簡(jiǎn)化了采集模式并采用已知優(yōu)化的程序設置的測量范圍輸入

· Z-stitching干涉技術(shù)采集模式,可用于單次掃描以及編譯多個(gè)縱向(z)距離很大的表面

· XY-stitching可以將大于單個(gè)視野的連續樣本區域拼接成單次掃描

· 使用腳本簡(jiǎn)化復雜測量和工作流程分析的創(chuàng )建,實(shí)現了測量位置、調平、過(guò)濾和參數計算的靈活性

· 利用已知最佳技術(shù),從其他探針和光學(xué)輪廓儀轉移算法

 

 

主要應用

· 臺階高度:納米級到毫米級的3D臺階高度

· 紋理:3D粗糙度和波紋度

· 形式:3D翹曲和形狀

· 邊緣滾降:3D邊緣輪廓測量

· 缺陷復檢:3D缺陷表面形貌

· 

工業(yè)應用

· 大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所

· 半導體和化合物半導體

· LED:發(fā)光二極管

· 電力設備

· MEMS:微電子機械系統

· 數據存儲

· 醫療設備

· 精密表面

· 汽車(chē)

· 還有更多:請與我們聯(lián)系以滿(mǎn)足您的要求



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